自動(dòng)化wafer-level測(cè)量流線型
Keysight技術(shù)推出了WaferPro表達(dá)2015年,測(cè)量軟件平臺(tái)自動(dòng)化wafer-level設(shè)備和電路元件的特性。
通過(guò)有效地控制所有組件在wafer-level測(cè)量系統(tǒng)(儀器和硅片探測(cè)器),WaferPro表達(dá)降低了測(cè)量設(shè)置的復(fù)雜性,提供了一個(gè)統(tǒng)一的平臺(tái),高效的自動(dòng)化測(cè)量和數(shù)據(jù)管理。
大容量wafer-level測(cè)量不再是獨(dú)家半導(dǎo)體生產(chǎn)地板。今天,許多研發(fā)團(tuán)隊(duì)測(cè)量大容量數(shù)據(jù)應(yīng)用,如設(shè)備建模、過(guò)程監(jiān)控、可靠性和組件特性;通常在不同的溫度。結(jié)果,自動(dòng)探測(cè)器正在成為標(biāo)準(zhǔn)研發(fā)設(shè)備描述實(shí)驗(yàn)室。
關(guān)鍵突破2015年WaferPro表達(dá)是其集成與級(jí)聯(lián)Microtech Velox 2.0探針臺(tái)控制軟件。WaferPro表達(dá)和Velox 2.0集成通過(guò)級(jí)聯(lián)Microtech WaferSync,聯(lián)合開(kāi)發(fā)雙向通信鏈路。該鏈接允許完整的晶片地圖同步,使容易,無(wú)錯(cuò)的軟件之間的信息交換,包括晶片對(duì)齊,網(wǎng)站和死亡信息。
新WaferPro表達(dá)鏈接Velox 2.0,再加上可用性改進(jìn),允許測(cè)試工程師快速建立測(cè)量系統(tǒng)。在射頻測(cè)量進(jìn)一步最大化效率,WaferPro表達(dá)定期監(jiān)測(cè)射頻校準(zhǔn)的穩(wěn)定性。這樣做可以減少所花費(fèi)的時(shí)間收集不準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
“WaferPro表達(dá)2015年是通過(guò)我們的合作與級(jí)聯(lián)Microtech和代表了我們的一個(gè)重要里程碑計(jì)劃提供Wafer-level測(cè)量解決方案給我們的客戶,”查爾斯·普羅特說(shuō),營(yíng)銷(xiāo)經(jīng)理Keysight EEsof EDA。“Wafer-level測(cè)量解決方案項(xiàng)目提供客戶保障系統(tǒng)配置,安裝和支持。WaferPro表達(dá)是程序的核心軟件,連接所有的系統(tǒng)組件和為客戶提供他們所需要的靈活性去他們第一次測(cè)量迅速。”
一個(gè)典型Wafer-Level測(cè)量解決方案(WMS)配置直流/射頻測(cè)量包括Keysight機(jī)構(gòu)或PNA-X網(wǎng)絡(luò)分析儀和B1500A半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀結(jié)合級(jí)聯(lián)Microtech晶圓探針臺(tái)、WinCal XE校準(zhǔn)軟件和阻抗標(biāo)準(zhǔn)底物校準(zhǔn)。WMS添加配置和優(yōu)化的精確和可重復(fù)的設(shè)備和組件特性。驗(yàn)證執(zhí)行的新安裝的系統(tǒng),使用新的Keysight驗(yàn)證襯底(千伏)。每個(gè)千伏完全在工廠和功能特征標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備后,工程師們可以用G-S-G探測(cè)器探測(cè)射頻校準(zhǔn)。WaferPro表達(dá)措施2015千伏變電站在初始系統(tǒng)驗(yàn)證過(guò)程。然后,通過(guò)比較測(cè)量和工廠數(shù)據(jù),經(jīng)過(guò)認(rèn)證系統(tǒng)的正確操作。
其他新功能包括支持噪聲圖測(cè)量和進(jìn)口的能力測(cè)試?yán)淌褂肒eysight開(kāi)發(fā)IC-CAP建模和測(cè)量軟件。新的噪聲圖測(cè)量能力補(bǔ)充軟件現(xiàn)有的增益壓縮,深淺不一的互調(diào)失真和參數(shù)測(cè)量當(dāng)前可用的最新Keysight PNA-X儀器驅(qū)動(dòng)程序。
關(guān)于WaferPro表達(dá)
WaferPro表達(dá)降低了研發(fā)的復(fù)雜性度量通過(guò)提供一個(gè)商業(yè)平臺(tái),管理測(cè)試計(jì)劃,并允許用戶方便地保存、顯示和監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)。數(shù)以萬(wàn)計(jì)的成套提供司機(jī),這樣用戶可以快速執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量。進(jìn)一步的Python編程環(huán)境提供的定制。Python腳本通常是開(kāi)發(fā)分析測(cè)量數(shù)據(jù),計(jì)算和保存價(jià)值的關(guān)鍵數(shù)據(jù),定制數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)和用自定義算法代替或補(bǔ)充內(nèi)置儀器驅(qū)動(dòng)程序。
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